安徽譜純|安全無憂(查看)-蘭州特種氣體廠：

 電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高，細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元，同比增長 5.7%；國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元，預(yù)計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料，根據(jù)不同氣體的生產(chǎn)工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多，在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。

特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應(yīng)占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。特種氣體從應(yīng)用領(lǐng)域來看，主要包括電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，是下游的行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料，被譽為電子產(chǎn)業(yè)的“血液”。特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟，其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。

特種氣體的儲存注意事項：根據(jù)儲存的氣體類型設(shè)置標(biāo)牌，如“嚴(yán)禁明火”、“危險”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

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